- submicron mask aligner
- submikrometrinis kaukės tapatintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. submicron mask aligner vok. Maskenjustieranlage für den Submikrometerbereich, f rus. установка совмещения с субмикронной точностью, f pranc. aligneur à précision submicronique, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.